PLD : Deux avancées majeures pour des dépôts plus performants

En 2024, la plateforme d’Ablation Laser Pulsé (PLD) de l’IPCMS à Strasbourg, a bénéficié de deux avancées instrumentales majeures : l’intégration d’un bâti de pulvérisation cathodique et l’ajout d’un système de chauffage laser pour les échantillons. Ce financement a été réalisé dans le cadre du Projet Ciblé SPINMAT du Programme de Recherche SPIN

Désormais reliée directement à l’une des enceintes PLD, la chambre de pulvérisation cathodique permet d’enchaîner les dépôts sans interruption ni exposition à l’air, optimisant ainsi la qualité des films minces. Assemblée sur mesure par l’équipe de la plateforme, cette installation intègre un magnétron DC de 2 pouces, conçu notamment pour le dépôt de matériaux métalliques tels que le platine ou le cuivre. Associée aux oxydes fonctionnels élaborés par l’équipe « Oxydes en couches minces », cette innovation ouvre de nouvelles perspectives en spintronique.
©Laurent SCHLUR-IPCMS
People who installed these new features
From left to right : François ROULLAND (MCF), Laurent SCHLUR (IE), Gilles VERSINI (IE)

© Laurent SCHLUR-IPCMS
Laser heating : now able to heat the samples up to 1100°C at 50°C per minute
Par ailleurs, le chauffage des échantillons a été considérablement amélioré. En complément du chauffage résistif existant, un nouveau système basé sur un laser de classe 4 (980 nm) a été installé. Ce dispositif chauffe l’arrière du porte-échantillon et intègre un pyromètre pour un contrôle précis de la température. Grâce à cette technologie, il est désormais possible d’atteindre des températures supérieures à 1100°C, contre 900°C auparavant. Ce chauffage laser permet également des montées et descentes en température plus rapides, ainsi que la réalisation de recuits sous atmosphère d’oxygène, en éliminant les contraintes d’inertie thermique et les risques d’oxydation des contacts liés au chauffage résistif.
Ces améliorations renforcent significativement les capacités de la plateforme PLD, offrant ainsi de nouvelles opportunités pour l’élaboration et l’étude des matériaux avancés.

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Laurent SCHLUR-IPCMS, Responsable technique de la plateforme PLD

Margaux Monvoisin

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